Innovative Dünnschichtsysteme

Im Bereich IDS entwickeln, fertigen und modifizieren  wir PECVD-Beschichtungsanlagen  mit dem Schwerpunkt auf kohlenstoffbasierten Funktionsschichten. Hier arbeiten wir eng mit dem Fraunhofer-Institut für Werkstoffmechanik (IWM) zusammen. Für eine Übersicht unserer bisherigen Erfolge, besuchen Sie die Seiten über unsere Projekte.

In der Zusammenarbeit zwischen der inprotec AG und dem Fraunhofer IWM wurden im Rahmen der Schichtentwicklung die Grunddaten für eine upscale-fähige Beschichtungstechnologie ermittelt. Entsprechend der Erkenntnisse aus der tribologischen und chemischen Bewertung der entstandenen Schichten werden verschiedene Elektroden- und Gasführungssysteme erprobt. Diese Elektroden werden durch die inprotec AG gebaut und anschließend in den IWM-Labor-PECVD-Anlagen integriert.

Dieser Prozess ist ein iterativer Vorgang, da die geänderten Elektroden- und Gasführungssysteme auf ihre Prozesstauglichkeit hin überprüft werden müssen. In Zusammenhang mit der durch sie erzeugten Schichtqualität werden daher Hand in Hand neue Lösungen erarbeitet und entsprechend der jeweils herrschenden Randbedingungen für die IWM-Labor-PECVD-Anlagen angepasst. Die Überprüfung der upscale-Fähigkeit kann mittels unterschiedlicher Geometrien oder unterschiedlicher Anzahl zu beschichtender Bauteile erfolgen, da die überarbeiteten Elektroden- und Gasführungssysteme mit sich ändernden Anlagendimensionen gefertigt werden müssen.

Erfahrungsgemäß muss bei der erstmaligen Inbetriebnahme einer prototypischen Beschichtungszelle mit Mängeln und nicht optimalen Beschichtungsergebnissen gerechnet werden. Der Aufwand zur Beseitigung solcher Anlaufschwierigkeiten sollte nie unterschätzt werden und wird deshalb in geförderten Projekten und einer engen Zusammenarbeit zwischen Fraunhofer IWM und der inprotec AG geleistet.

Zudem kooperieren wir im Bereich der Anlagen-Komponenten-Entwicklung (AKE). Wir entwickeln beispielsweise Elektroden, Gasverteilungen/Showerheads, Gasauslasssysteme oder Rezipienten.